Maskineringsnøyaktigheten til CNC-metallskjæremaskiner har blitt forbedret fra det opprinnelige trådnivået (0,01 mm) til mikronnivået (0,001 mm), og noen varianter har nådd omtrent 0,05 μm. For mikro-skjæring og sliping av ultra-presisjons CNC-maskinverktøy kan nøyaktigheten være stabilt ca. 0,05 μm, og formnøyaktigheten kan nå ca. 0,01 μm. Presisjonen til spesialbehandling ved bruk av lys, elektrisitet, kjemiske og andre energikilder kan nå nanometernivå (0,001μm). Gjennom optimalisering av design av maskinverktøystruktur, ultra-finishing og presisjonsmontering av maskinverktøydeler, bruk av høy-presisjon full-lukket-sløyfekontroll og dynamisk feilkompensasjonsteknologi som temperatur og vibrasjon, den geometriske nøyaktigheten til maskinverktøysbehandlingen er forbedret, og overflatens posisjon forbedres, osv. , for å gå inn i æraen med ultra-sub-mikron- og nano--skala-ultrabehandling.
